愛德華螺桿真空泵維修應(yīng)嚴(yán)格遵守的規(guī)范介紹
點擊次數(shù):29 更新時間:2026-01-14
愛德華螺桿真空泵憑借無油干式運行、高抽速、低振動及優(yōu)異的工藝兼容性,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、鍍膜、化工及鋰電池制造等領(lǐng)域。其核心由一對精密嚙合的非對稱螺桿轉(zhuǎn)子在同步齒輪驅(qū)動下實現(xiàn)氣體壓縮與排出。由于內(nèi)部間隙小、材料與裝配精度要求高,不當(dāng)維修易導(dǎo)致性能下降、異響。因此,
愛德華螺桿真空泵維修時必須遵循嚴(yán)格規(guī)范,做到精、凈、準(zhǔn)、慎。

一、安全斷電與系統(tǒng)隔離
維修前務(wù)必切斷主電源并上鎖掛牌(LOTO),防止誤啟動;
關(guān)閉進/排氣閥門,釋放泵腔內(nèi)殘余壓力,確認(rèn)真空表歸零;
若用于腐蝕性或有毒工藝,需用惰性氣體充分吹掃腔體,避免殘留物危害。
二、環(huán)境與工具潔凈度控制
維修區(qū)域必須為無塵車間或潔凈工作臺,空氣中顆粒物會劃傷轉(zhuǎn)子表面;
使用專用無紡布、無水乙醇(≥99.5%)清潔零件,禁用棉紗或含氯溶劑;
所有工具(扭矩扳手、塞尺、吊裝帶)應(yīng)專用且校準(zhǔn),避免引入雜質(zhì)或損傷。
三、核心部件拆裝要點
嚴(yán)禁強行拆卸轉(zhuǎn)子:必須使用原廠拉馬工裝,按手冊順序松開同步齒輪鎖緊螺母;
轉(zhuǎn)子與殼體間隙為關(guān)鍵參數(shù)(通常0.05–0.15mm),拆卸后需用塞尺測量記錄,重裝時嚴(yán)格復(fù)原;
同步齒輪相位標(biāo)記必須對齊,否則會導(dǎo)致轉(zhuǎn)子碰撞——相位錯位0.5°即可引發(fā)嚴(yán)重磨損。
四、密封與軸承更換規(guī)范
機械密封、O型圈、軸封等一次性耗材必須全部更換,禁止重復(fù)使用;
軸承采用預(yù)緊配對設(shè)計,安裝時需加熱至80–100℃熱套,冷卻后檢查游隙;
潤滑脂僅用于齒輪箱,螺桿腔體絕對禁止加油(干泵特性)。
五、裝配后測試與驗證
手動盤車應(yīng)順暢無卡滯,阻力均勻;
空載試運行30分鐘,監(jiān)測振動值(<4.5mm/s)、溫度(軸承<70℃)及噪音;
連接標(biāo)準(zhǔn)漏孔進行極限真空與抽速測試,確認(rèn)性能恢復(fù)至出廠指標(biāo)。